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CCD基本原理 

CCD是採「取樣」(sample)的方法,將光能轉換為電能。它的基本輸出稱作像素(pixel或photosite)。這是由金屬氧化半導體(MOS)受到光線的照射而產生電子和電洞(如圖1所示),在最上層的導電閘施以正電後,電子會集中在SiO2和Si之間。如果將這些會儲存電子的MOS以陣列(array)的方式排列,如圖2所示,當L1被施以正電壓時,L2和L3為零電壓時,電子會集中在G1閘下。當掃瞄(scan)訊號到達L2時,L1仍保持Vg,L3仍為零,此時電子平均分佈在G1和G2下方(如圖2(C))。之後,重設訊號到達,會使L1恢復為零,電子就集中在G2下方。直到掃瞄訊號到達L3,G1閘下的電子由左至右經由MOS電容傳導,最後抵達輸出端,再經影像顯示系統(image display system),將此G1輸出的類比訊號轉換為數位訊號在螢幕上形成一個像素。在掃瞄訊號到達L3後,重設訊號隨後會將L3恢復為零,G3下的電子全 部會抵達輸出端。之後,新的週期開始,掃瞄訊號又回到L1。 

上述這種方法稱作「三階段法」(three-phase),因為電子要到達輸出端必須經過三階段: 

L1=Vg, L2=0, L3=0
L1=Vg, L2-Vg, L3=0
L1=0, L2=Vg, L3=0


這種方法有個大缺點,就是當Gi電子在傳輸時,其他閘都不可感光,否則,產生的像素將失真。解決的方法有兩種,如圖3(a)所示,在每一行(row)CCD陣列下,加入一行CCD,這加入的CCD被特殊材料封裝,可以不感光。所以當Gi下的電子形成時,可以立即被傳導到第二行的CCD陣列下,這第二行CCD陣列因此被稱作「傳輸記錄器」(transport register),當下一個新影像形成時,傳輸記錄器內的電子會依序抵達「讀出記錄器」(readout register),新影像(光能)被轉換為電能儲存在第一行CCD陣列的同時,輸出螢幕上已顯示出上一影像的畫面。這種方法叫作「訊框傳送」(frame transfer),它的缺點是由於第二行CCD陣列(傳輸記錄器)的存在,使行距加大,CCD感光效果因此減低,致使解析度(resolution)降低。另一種2D陣列的CCD光感測器是「線間傳送」(interline transfer),如圖3(b)所示,將 第二CCD陣列加在第一CCD陣列右方(而非下方),如此將使CCD長度增加。它的操作功能和訊框傳送相同,而且解析度比較高,但是,因為傳送長度加長,所以,傳輸時間較長。不管採用上述的「三階段法」或「訊框傳送法」或「線間傳送法」,都必須經過大量的傳送單元,且這些傳送過程都會造成電荷數減少。所以,如何避免或減少電荷數降損已是現今CCD製造廠的最大課題。 

計算電荷在傳送過程的損失是叫作「電荷傳送效率」(charge transfer efficiency)以ηct符號代表(ETA是η的英文發音)。其表示方法為經m次傳送,原有電荷數已降至(ηct)m。如果要使像素訊號忠實地呈現物像原貌,則電荷傳送效率必須等於1。當然1是理想值,目前最先進的技術已可以使電荷傳送效率提高到0.999999,這效果是在MOS晶圓(wafer)結晶階段,儘可能去蕪存菁達到的。假設1024x1024 CCD陣列,其電荷傳送效率是0.9999(10000個電荷之中,只有1個損耗),使用三階段法,則其總傳送單元數為3×2048(因為三階段法是採1D陣列,所以需2倍的陣列長度),而傳送後的總電荷數將降至(0.9999)6144或0.54。 

 

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2012-05-31
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